光刻机的对准系统的精度,对光刻机的芯片曝光有很大的影响
目前国内的对准系统研究的精度,勉强可以应用要1.5微米的制造工艺上
不过,要特别注明的一点就是,在欧美日,此时已经实现了光刻机上的自动对焦,而国内只能是手动对准
别人的光刻机,单位时间能曝光两百多块晶圆片,而国产的只能曝光十几块
这意味着我们自家生产的,只能在实验室里用用,无法投入到商业应用当中,不然,这成本就能拖死一家芯片加工厂
光刻机的对准系统的精度,对光刻机的芯片曝光有很大的影响
洪荒星辰道:开新书了,求支持! 发表于 2022-02-20 14:37:13目前国内的对准系统研究的精度,勉强可以应用要1.5微米的制造工艺上
狼道:第四十五章 王曼母亲去世 发表于 2020-02-17 13:07:00不过,要特别注明的一点就是,在欧美日,此时已经实现了光刻机上的自动对焦,而国内只能是手动对准
嘿,老男人:第一百四十一章 这就是最好的结局! 发表于 2019-01-31 08:00:01别人的光刻机,单位时间能曝光两百多块晶圆片,而国产的只能曝光十几块
重生狂妻,大佬宠上天南景战北庭:第2995章 发表于 2022-06-17 12:07:01这意味着我们自家生产的,只能在实验室里用用,无法投入到商业应用当中,不然,这成本就能拖死一家芯片加工厂
全世界的醋都被你吃了:第66章 番外 2 发表于 2022-02-27 22:33:13